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第085章 研发成功了! (第3/4页)
142,64还有7,69这两个坐标。” “这两个坐标的附近,几乎都有3-4纳米的误差!” 他从仪器中,取出了检验的晶圆平静的说道。 “这么高的误差,表示我们依旧无法生产10纳米以下的芯片!” “距离目前世界上高精度芯片还有着相当的距离。” 围绕在一旁的研究人员,以及专家无不底下头来。 话虽然是这么说,可对比起他们之前的光刻机技术已经成长了许多了。 尽管成功率不算高,在此之前也已经制造出几片5纳米规格的芯片。 贺老平静的说道。 “另外,我在这里宣布一个好消息,以及一个坏消息。” 贺志远的声音,让众人再度抬起头来。 这种说话语气,可不像是贺老啊。 不过,光电研究团队,还是流露出好奇。 “贺老,您说!” 贺志远点了点头,平静的说道。 “目前,其实我们的曝光系统其实已经基本没有问题。“ “脉冲冷激光经过反射后,完全能够用于光刻。” 他的语气一顿,继续说道。 “先说坏消息。” “现在的问题在于,光刻机的对准系统出现了问题。” “在晶圆光刻后,始终会出现一定的偏差!” 贺志远突然流露出一丝微笑。 “至于好消息是,我已经想到了解决这个问题的方法!” “如果不出意外,目前我们所掌握的光刻技术,至少能够制造出1纳米级别的芯片!” 正当众人准备鼓掌的时候。 贺志远举起
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